ВОПРОСЫ 1-го рубежного контроля 


Мы поможем в написании ваших работ!



ЗНАЕТЕ ЛИ ВЫ?

ВОПРОСЫ 1-го рубежного контроля

по курсу «Технологические процессы микроэлектроники» РПД-81 (2011)

 

(Вопросы, требующие подробного раскрытия)

1. Электронно-лучевая литография в технологии микроэлектроники.

2. Получение металлических и токопроводящих пленок вакуум-термическим напылением.

3. Получение металлических и токопроводящих пленок электроннолучевым и магнетронным напылением.

4. Гибридные интегральные микросхемы (ГИС). Подложки и элементы ГИС. Пленочные резисторы.

5. Подгоняемые резисторы. Пленочные конденсаторы. Подгоняемые конденсаторы.

6. Пленочные индуктивные элементы. Навесные компоненты ГИС. Технология формирования тонкопленочного конденсатора.

7. Технологический маршрут производства тонкопленочных ГИС. Технология формирования резистора.

8.  Технологический маршрут производства толстопленочных ГИС

 

(Дополнительные вопросы, требующие краткого ответа)

1. Нарисовать установку вакуум-термического напыления металлических пленок.

2. Нарисовать установку магнетронного напыления металлических пленок.

3. Нарисовать конструкции пленочных резисторов и написать формулу для расчета сопротивления пленочного резистора.

4. Нарисовать конструкции подгоняемых пленочных резисторов.

5. Нарисовать конструкции постоянных и подгоняемых пленочных конденсаторов.

6. Нарисовать способы установки навесных компонентов.

7. Нарисовать пример технологии формирования тонкопленочного конденсатора

8. Нарисовать пример технологии формирования тонкопленочного резистора ГИС.

9. Нарисовать окончательную структуру толстопленочной ГИС.

10. Нарисовать установку электронно-лучевая литографии.



Поделиться:


Последнее изменение этой страницы: 2024-06-27; просмотров: 38; Нарушение авторского права страницы; Мы поможем в написании вашей работы!

infopedia.su Все материалы представленные на сайте исключительно с целью ознакомления читателями и не преследуют коммерческих целей или нарушение авторских прав. Обратная связь - 216.73.216.196 (0.005 с.)